Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf … Deutsch Wikipedia
optical stepper lithography — žingsninė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step und Repeat Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
photolithographie à l'exposition pas à pas — žingsninė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step und Repeat Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
žingsninė fotolitografija — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step und Repeat Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc. photolithographie à l exposition … Radioelektronikos terminų žodynas
фотолитография с последовательным шаговым экспонированием — žingsninė fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical stepper lithography vok. Fotolithografie nach dem Step und Repeat Verfahren, f rus. фотолитография с последовательным шаговым экспонированием, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… … Deutsch Wikipedia
Elektronenstrahllithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Fotolithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Immersions-Lithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Ionenlithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
